Κωδικός Εργασίας: NT0236 - Poster
ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΜΟΣ ΛΕΠΤΩΝ ΥΜΕΝΙΩΝ ΥΔΡΟΓΟΝΩΜΕΝΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ (Si:H) ΜΕ ΦΑΣΜΑΤΟΣΚΟΠΙΑ ΥΠΕΡΙΩΔΟΥΣ/ΟΡΑΤΟΥ (UV/VIS).
Ι. Αλεξίου, Β. Περδικάρη, Π. Δημητρακέλλης, Ε. Φαρσάρη, Α. Καλαμπούνιας, Ε. Αμανατίδης, Δ. Ματαράς
Τμήμα Χημικών Μηχανικών, Πανεπιστήμιο Πατρών

Περιγραφή :

Η δομή καθώς και οι οπτοηλεκτρονικές ιδιότητες λεπτών υμενίων αποτελούν σημαντικό παράγοντα για την καταλληλότητά τους για την εφαρμογή τους σε οπτοηλεκτρονικές διατάξεις. Στην εργασία αυτή παρουσιάζεται μια μέθοδος για τον οπτικό χαρακτηρισμό αλλά και τον υπολογισμό του πάχους των λεπτών υμενίων υδρογονωμένου πυριτίου με φασματοσκοπία υπεριώδους/ορατού.

Λέξεις Κλειδιά:

υδρογονωμένο πυρίτιο, οπτικές ιδιότητες, δείκτης διάθλασης, λεπτά υμένια.