Η εργασία αυτή μελετά την ανάπτυξη υμενίων με χημική απόθεση ατμών πάνω σε ειδικές θερμαινόμενες επιφάνειες(δισκία).Ειδικότερα διερευνάται η δυνατότητα αύξησης της ομοιομορφίας των υμενίων τα οποία αναπτύσσονται σε δισκία με προσχηματισμένη μικρο-τοπογραφία. Η επίτευξη της ομοιομορφίας καθίσταται δυνατή με την αξιοποίηση του φαινομένου εξάντλησης. Οι υπολογισμοί υλοποιούνται με υπολογιστικό πλαίσιο προσομοίωσης πολλαπλών χωρικών κλιμάκων χημικής απόθεσης ατμών(ΧΑΑ). Ερευνάται η απόθεση αλουμινίου με πρόδρομη ένωση DMEAA(dimethylethylamine alane)

Χημική απόθεση από ατμό, προσομοίωση πολλαπλών χωρικών κλιμάκων, ομοιομορφία απόθεσης, φαινόμενο εξάντλησης